真空等離子處理,真空等離子清洗機(jī) SPV-150 技術(shù)規(guī)格,等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為五大部分組成:控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。
(實際外觀以出廠的為準(zhǔn))
(1)產(chǎn)品簡述
(1.1)等離子清洗的作用
等離子清洗的作用原理主要是:
(A)對材料表面的刻蝕作用--物理作用
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但
清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)
坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
(B)激活鍵能,交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在 0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV,因此等離子體作
用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵
形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。
(C)形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用
如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的
官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等,這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),能明顯提高材料表面活性。
(1.2)產(chǎn)品原理
等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為五大部分組成:控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣
體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。
(A) 控制系統(tǒng):
控制系統(tǒng):觸摸屏+PLC
(B) 激勵電源系統(tǒng):
電源:13.56MHz 的射頻激勵電源,
(C) 真空腔體:
鋁合金腔體,
(D) 工藝氣體系統(tǒng):
工藝氣體:氬氫混合氣
(E) 真空泵:油泵主要采用雙級旋片油泵
(2.1)技術(shù)參數(shù)
電源系統(tǒng) | 美國 CERES 射頻電源,13.56MHz |
功率 0~600W 可調(diào); |
|
美國 CERES 全自動真空電容匹配器 |
真空系統(tǒng) | 德國天津萊寶,TRIVAC 60T |
真空計:日本英??灯だ嵴婵沼?/span> |
|
真空管路:全不銹鋼管路,以及高強(qiáng)度真空波紋管 |
腔體系統(tǒng) | 鋁合金真空腔體,軍工級焊接密封,25mm 厚度 |
腔體內(nèi)部尺寸:450×450×500mm(寬×高×深) |
電極板布置方式:獨特豎電極板,可活動抽取 |
空間層數(shù):3 豎隔 |
氣體系統(tǒng) | 氣壓閥,日本 SMC |
流量計,浮子流量計,0~300SCCM |
一路工藝氣體:氬氫混合氣體 |
控制系統(tǒng) | PLC,德國西門子 S 系列 |
觸摸屏,威綸通,七寸屏幕 |
電氣部件:德國施耐德品牌 |
其它參數(shù) | 外形尺寸:約 890×1745×1000mm(寬×高×深) |
重量:400KG |
顏色:銀灰色 |
(2.2)配置清單
名稱 | 描述說明 | 單位 | 數(shù)量 |
真空腔體 | 鋁合金真空腔體,尺寸:450×450×500mm(寬×高×深) | 個 | 1 |
射頻電源 | 美國 CERES 射頻電源,13.56MHz | 臺 | 1 |
功率 0~600W 可調(diào) |
|
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電源匹配器 | 美國 CERES 全自動真空電容匹配器 | 臺 | 1 |
PLC | 德國西門子,S7-200 | 個 | 1 |
觸摸屏 | 威綸通,MT6071iE | 個 | 1 |
流量計 | 氬氫混合氣 | 個 | 1 |
真空泵組 | 德國天津萊寶,TRIVAC 60T | 套 | 1 |
(3)安裝、調(diào)試、保養(yǎng)
(3.1).裝卸要求:需提供插車;
(3.2)安裝環(huán)境要求:
A.三相 380V 的,五線(三根火線、一根零線、一根地線)供電電源,功率 5000W,4 平方線;
B.氣體,氬氫混合氣;
C.無水無油的壓縮空氣。
(3.3)安裝及調(diào)試過程需協(xié)助;如提供測試樣品及測試要求等。
(3.4)效果驗證:采用接觸角測試,對處理后的樣品進(jìn)行量化評估,確保效果
和均勻性及穩(wěn)定性。
(3.5)保養(yǎng):
A.為了更好的延續(xù)設(shè)備的使用壽命,我們的真空設(shè)備需要定期保養(yǎng),保養(yǎng)周
期:3 個月。
B.保養(yǎng)明細(xì):
真空等離子設(shè)備保養(yǎng)表
項目 |
1 | 檢查抽空時間是否超標(biāo) |
2 | 檢查密封圈是否有裂痕 |
3 | 檢查視窗玻璃螺絲是否需緊固 |
4 | 檢查電極板插針是否需更換 |
5 | 檢查設(shè)備放電是否正常 |
6 | 檢查腔門感應(yīng)開關(guān)接觸是否良好 |
7 | 更換過濾器濾芯 |
8 | 更換真空泵油 |
9 | 檢查真空泵密封 |
(4)耗材清單
1 | 更換泵油 | L | 5 | 3 個月更換一次 |
2 | 更換濾芯 | 個 | 1 |
|
3 | 工業(yè)氣體 | 瓶 | 1 | 一般使用一路氣體 |