等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，是一種用于處理和修飾表面的獨(dú)特的處理介質(zhì)。等離子表面處理工藝獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，其與表面的相互作用的特性和可應(yīng)用的工藝氣體的范圍如下。
1、等離子體物理學(xué)
等離子體是什么，它是如何產(chǎn)生和維持的，以及它是如何與物質(zhì)表面相互作用的基礎(chǔ)。
2、等離子體優(yōu)勢(shì)
等離子表面處理對(duì)表面本身的優(yōu)勢(shì)，工藝的靈活性和一致性，低成本，易用性，以及用戶和環(huán)境安全。
3、等離子體表面相互作用
取決于所使用的工藝氣體和材料類型，可能發(fā)生不同的等離子體表面相互作用。
4、等離子體工藝氣體
不同的等離子體處理氣體可用于化學(xué)和機(jī)械污染物去除、氧化、活化、交聯(lián)和沉積。
達(dá)因特等離子表面處理儀性質(zhì)：
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。
等離子體形成：
通過(guò)使用電容板或通過(guò)磁感應(yīng)，在氣體區(qū)域中產(chǎn)生RF振蕩電場(chǎng)。
在足夠低的壓力下，電子的電場(chǎng)加速和電子與中性原子或場(chǎng)線的彈性散射的聯(lián)合效應(yīng)導(dǎo)致電子的加熱。
當(dāng)電子在中性氣體物種中獲得超過(guò)第一電離閾的動(dòng)能時(shí)，電子中性碰撞導(dǎo)致進(jìn)一步電離，產(chǎn)生依次被加熱的附加自由電子。
等離子體表面相互作用：
等離子體電子和離子的能量足以電離中性原子，將分子分開(kāi)，形成反應(yīng)性自由基，在原子或分子中產(chǎn)生激發(fā)態(tài)，并局部加熱表面。
依賴于過(guò)程氣體和參數(shù)，等離子體可以通過(guò)機(jī)械作用，通過(guò)電子和離子與表面的動(dòng)態(tài)轉(zhuǎn)移的燒蝕效應(yīng)，以及化學(xué)反應(yīng)功，通過(guò)反應(yīng)自由基與表面的相互作用。
一般來(lái)說(shuō)，等離子體可以通過(guò)幾種機(jī)制相互作用和修飾一個(gè)表面：燒蝕、活化、沉積、交聯(lián)和接枝-見(jiàn)等離子體表面相互作用。
等離子體優(yōu)勢(shì)：
表面相互作用：等離子體處理僅影響材料的近表面；它不會(huì)改變塊狀材料性質(zhì)。等離子清洗不留下有機(jī)殘留物，不像許多濕式清洗過(guò)程；在適當(dāng)?shù)臈l件下，它可以實(shí)現(xiàn)完全的污染物去除，從而產(chǎn)生“原子清潔”的表面。與水性清洗溶液不同，等離子體沒(méi)有表面張力限制，它可以清潔粗糙的、多孔的或不平坦的表面。等離子體處理發(fā)生在近環(huán)境溫度下，降低對(duì)熱敏材料損壞的風(fēng)險(xiǎn)。
過(guò)程靈活性與一致性，根據(jù)工藝氣體和使用配置，等離子體處理可用于表面特性的清洗、活化、滅菌和一般改變。等離子體將與各種各樣的材料反應(yīng)；因此，等離子體也可以處理由不同材料制成的組件。
等離子清洗可處理復(fù)雜幾何形狀的三維零件
低成本/易用性
等離子體處理效率高，處理時(shí)間短，無(wú)干燥階段，能耗少。
等離子體處理有助于避免由于熱或溶劑損壞而導(dǎo)致的工藝損失。
等離子體處理比化學(xué)或機(jī)械加工更容易使用和維護(hù)；此外，它不需要復(fù)雜的化學(xué)分析或維護(hù)。
等離子體處理經(jīng)常消除溶劑的需要，以及它們的持續(xù)購(gòu)買(mǎi)和處理成本。
通過(guò)操作等離子處理，提高用戶與環(huán)境安全
1、等離子體處理消除工人接觸危險(xiǎn)化學(xué)品的安全風(fēng)險(xiǎn)
2、等離子體處理包含在真空室內(nèi)，很少或沒(méi)有直接工人暴露。
3、等離子體處理在接近環(huán)境溫度的情況下，不暴露的風(fēng)險(xiǎn)。